真空快速退火爐采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO控制系統(tǒng)，實現(xiàn)了爐膛自動左右移動，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動到右側(cè)樣品區(qū)域，實現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區(qū)，實現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制，而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。

 

　　真空快速退火爐主要適用于不銹鋼拉深件如水暖器材、水脹件、銷、醫(yī)療器械、不銹鋼釘、不銹鋼鏍絲、壓鉚件、不銹鋼軸承、表殼、表帶、刀具、微型軸、自攻自鉆、餐具等不銹鋼制品在保護氣氛控制下進行連續(xù)光亮退火、固溶、退磁及不銹鋼淬火處理的多用爐。處理后產(chǎn)品表面光潔、不氧化、不脫碳。具有生產(chǎn)效率高、能耗低、污染少、操作使用方便，勞動強度低等優(yōu)點。

　　產(chǎn)品特點：

　　1、 紅外鹵素燈管加熱，冷卻采用風冷；

　　2、加熱由功率控制而非電壓控制，避免了由于燈絲老化電阻改變導致的后續(xù)使用中加熱不均的問題，了良好的重現(xiàn)性及均溫性，即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達到初的熱處理效果；

　　3、石英腔體，腔體冷卻采用水冷，冷壁設(shè)計，雙層不銹鋼；

　　4、反應(yīng)腔室的設(shè)計，氣體的進入口設(shè)計在wafer的表面，避免在退火過程中冷點的產(chǎn)生。很好的了樣品在加熱過程中的均溫性；

　　5、快速數(shù)字PID控溫；

　　6、熱電偶設(shè)計上采用中間和邊緣安裝模式，測試的樣品的溫度，控溫；

　　7、大氣和真空工藝均適合，凈化氣體配針閥；

　　8、多3工藝氣體，配數(shù)字質(zhì)量流量控制器；

　　9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度；

　　10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計，用于小樣品測試；

　　11、可選配分子泵，用于高真空測試；

　　12、可選配雙腔體設(shè)計, 達到高潔凈工藝，避免交叉污染。